机译:没有微掩膜效应的玻璃碳蚀刻工艺,用于制造具有高质量表面的模具
机译:没有微掩膜效应的玻璃碳蚀刻工艺,用于制造具有高质量表面的模具
机译:基于通孔电化学蚀刻和微电铸过程的微流体芯片模具的制造
机译:通过蚀刻制造八角形和十二角单晶Si微滤网,而无需使用预图案掩模
机译:使用电子束光刻图案化的氢气硅氧烷作为O {Sub} 2干蚀刻面膜制造玻璃碳模具
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:集成选择性外延生长和选择性湿法刻蚀制造高质量和应变松弛的GeSn微盘
机译:3D使用纳米级加工和化学蚀刻的组合技术进行微制造(第4次报告,掩蔽效果机制)
机译:自动制造无模具的净形微晶和复合金属结构