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机译:B掺杂的基于多晶硅的电热致动器的不可逆和可逆致动区域的区别
MICROACTUATORS; INPLANE; PLANE;
机译:B掺杂的基于多晶硅的电热致动器的不可逆和可逆致动区域的区别
机译:具有双压电晶片执行器的电热致动微镜-弯曲型和扭转型
机译:与传统人字形弯束电热执行器相比,扭结执行器的特性
机译:用于检测不可逆转机电致动器不可逆性裕度的预测模型
机译:引导和非引导傅立叶变换光谱系统中的MEMS电热执行器。
机译:具有双压电晶片执行器的电热致动微镜-弯曲型和扭转型
机译:具有双晶片致动器的电热驱动微镜 - 弯曲型和扭转型
机译:钛合金Ti-6-4的粘弹性响应:时间和速率相关的可逆和不可逆变形区域的实验识别。