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机译:基于静电驱动弯曲微束共振频率监测的位移感应
curved beam; bistable; displacement sensing; resonant sensing;
机译:基于静电驱动弯曲微束共振频率监测的位移感应
机译:静电致动初始弯曲耦合微束中的双稳性和同步模式致动
机译:闩锁在双稳态静电激励弯曲微束中
机译:基于微弯梁共振频率监测的MEMS位移传感器
机译:带有静电驱动的MEMS微束动态分析。
机译:基于静电驱动弯曲微梁共振频率监测的位移传感
机译:基于共振频率跟踪的微加工螺旋线圈执行器的无线位移传感
机译:CmOs技术中静电驱动的谐振微悬臂梁检测化学武器