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机译:等离子增强化学气相沉积法沉积非晶态氮氧化硅膜的化学和形态学性质
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机译:在低基板温度下通过等离子体增强化学气相沉积和热线化学气相沉积沉积的薄膜的机械和压阻特性
机译:用于太阳能电池的等离子增强化学气相沉积非晶氮氧化硅薄膜的电,光学和结构研究
机译:通过等离子体增强的化学气相沉积沉积氢化非晶碳化硅薄膜
机译:微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积法沉积的纳米晶和非晶硅薄膜晶体管:材料分析,器件制造和表征。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:等离子体增强化学气相沉积沉积氮化硅和氮氧化硅薄膜的材料结构和机械性能
机译:通过等离子体增强化学气相沉积沉积的无定形碳膜作为平面化层。