机译:适用于亚微米范围的低成本直接写入光刻系统
机译:适用于亚微米范围的低成本直接写入光刻系统
机译:旨在实现低于10 nm的快速直接光刻的紧凑型质子束写入系统的设计注意事项
机译:直接对亚微米抗蚀剂图形进行LED写入:致力于制造可单独寻址的InGaN亚微米条形LED阵列
机译:飞秒直接激光写入系统可用于亚微米和微米级图案
机译:研究非晶态三硫化二砷中的银光掺杂机理,以及碲化银-三硫化二砷体系作为无机光刻胶的亚微米光学和深紫外光刻技术的潜力
机译:通过机械手分配系统对悬浮的微米级/亚微米级纤维结构进行规定的3D直接写入
机译:用于亚微米范围的低成本直写光刻系统
机译:使用传统的商业抗蚀剂系统的低缺陷,高分辨率,亚微米电子束光刻