圧電 PZT用ゾルゲル液の開発と圧電膜の特性

摘要

当社電子材料カンパニーでは、薄膜キャパシタ、FeRAMなど用に、チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）やチタン酸バリウムストロンチウム（BST）などのゾルゲル液の製造、販売を行っている。PZTは優れた電気機械結合定数、圧電定数、誘電率を有することから様々なアプリケーションへの応用が検討されている。近年では、その圧電特性に注目したMEMS開発が注目されており、マイクロアクチュエータやセンサの実用化が一部で進んでいる。