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机译:在沉积用于硅太阳能电池的全PECVD AlOx / a-SiNx钝化叠层之前,先对硅表面进行湿式化学氧化
AlOx; Interface passivation; PECVD; SPV; Wet-chemical treatment;
机译:在沉积用于硅太阳能电池的全PECVD AlOx / a-SiNx钝化叠层之前,先对硅表面进行湿式化学氧化
机译:PECVD非晶硅和PECVD氧化硅用于硅太阳能电池背面钝化的堆叠系统
机译:使用二氧化硅和PECVD氧氮化硅叠层N型C-Si太阳能电池硼发射器的表面钝化
机译:在沉积用于硅太阳能电池的全PECVD AlO_x / a-SiN_x钝化叠层之前,先对硅表面进行湿式化学氧化
机译:氮化硅(氢)层对多晶硅太阳能电池的表面和整体钝化:建模和实验。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:使用等离子体增强的化学 - 蒸汽沉积的SIN薄膜和薄的热SiO2 /等离子体SIN堆叠表面钝化硅太阳能电池
机译:通过快速热氧化物/ pECVD氮化硅叠层有效钝化低电阻率硅表面及其在钝化后部和双面si太阳能电池中的应用