Method for applying anti-reflection coating on the surfaces of silicon solar cells using thermo-chemical technology with PECVD and a vacuum chamber for the implementation of this method

机译： 使用具有PECVD的热化学技术和用于实施该方法的真空室在硅太阳能电池的表面上施加抗反射涂层的方法

机译： 将光敏多层涂层施加到基材上的方法包括将无氮，非化学计量的氧化硅介电减反射层施加到具有可施加光敏抗蚀剂表面的基材上

机译： 在硅晶片表面上施加结构的方法，包括将掩模基材施加到太阳能电池的表面上，用柱塞涂覆选择的图案，并使液体蚀刻介质与蚀刻掩模接触。