Etude de Sa microstructure de couches minces par diffraction des rayons X : description analytique des profils de raie

摘要

Nous proposons un modele cinematique permettant de decrire de facon analytique les profils de raie de diffraction des rayons X de couches minces epitaxiees. Compare aux modeles analytiques existant, celui-ci permet de prendre en compte plusieurs types de defuuts simultanement, notamment la rugosite du subslral, celle de la surface de la couche, et les fluctuations aleak) ires (cumulatives ou non) de distance interreliculaire. Cette description peut s'appliquer aux cas de couches minces nanometriques (de quelques dizaines de nanometres a quelques centaines de nanometres) ainsi qu'aux couches ultra-minces (quelques Angstroms). Les profils de raie sont ai'fectes differemment selon la nature des defauts presents, ce qui permet d'envisager l'application de ce modele pour la determination quantitative des proprietes microstructurales des couches de facon simple et routiniere.