水素·ヘリウム対応の微少流量計を発売

摘要

山武は「デジタルマスフローコントローラCMQ－Vシリーズ微少流量モデル」に，水素·ヘリウムに対応した水素微少流量モデルを追加し，販売を開始した。 今年1月に販売を開始した「CMQ－Vシリーズ微少流量モデル」では，微少流量域での高速制御に対応するため，新規にMEMSフローセンサーを開発し，ガス供給圧力変動や背圧変動·炉内圧力変動の影響を受けずに安定，かつ高速に流量制御を実現するなど，顧客のニーズに応えて好評を得ている。