大日本スクリーン製造半導体ウエハー洗浄の液流動挙動解析技術を確立

摘要

大日本スクリーン製造は独自の数値シミュレーションを駆使し，半導体製造装置の生産合理化やプロセス開発の効率化に役立っウエハー表面の液流動挙動に関する解析技術を確立した。確立したシミュレーション解析技術は，独自のアルゴリズムを採用した数値解析ツールを使い，回転させたウエハー表面の液流動挙動を解析するもの。