低エネルギーEB装置:(株)アイ·エレクトロンビーム

摘要

EB（電子線）照射技術を利用した表面改質，表面コーティング，素材改質，あるいは殺菌（滅菌）などがさまざまな産業分野で利用されている。今回は，EBを利用した製品開発，基礎研究のために最適な実験用EB装置を紹介する。写真1はデスクトップでのEB照射試験を可能にした小型EB実験機である。加速電圧は40～60kVで，スポット状のEBが照射され，薄膜あるいは対象物表面へのEB処理が可能である。標準では，上下稼動可能な照射ステージ上にサンプルをセットし，EBを照射する方式になっている。