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机译:在AFM悬臂上沉积的超薄非晶碳膜上测量的本征应力
amorphous carbon; AFM cantilever; compressive stresses; ultra-thin films;
机译:在AFM悬臂上沉积的超薄非晶碳膜上测量的本征应力
机译:电子回旋共振等离子体沉积的氢化非晶态碳膜的氢结合,固有应力和热稳定性
机译:通过纳米划痕测试测得的具有超强附着力的超薄四面体无定形碳膜
机译:原位等离子体分析,通过等离子体增强化学气相沉积法沉积在Si上的氟化非晶碳和氢化非晶碳薄膜的氟掺入,热稳定性,应力和硬度比较
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:磁控溅射沉积非晶碳膜的基体温度相关的微观结构和电子诱导的二次电子发射特性
机译:通过纳米划痕测试测量的具有强粘附力的超薄四面体无定形碳膜