机译:光辅助蚀刻二氧化硅薄膜
机译:光辅助蚀刻二氧化硅薄膜
机译:在超临界二氧化碳中蚀刻氧化硅膜
机译:在真空中测量二氧化硅薄膜在氩气稀释的碳氟化合物等离子体刻蚀过程中产生的悬空键
机译:在Fowler-nordheim的逐步湿法蚀刻期间氧化物表面粗糙度在彼得·诺德海姆的逐步湿法蚀刻型二氧化硅薄膜期间循环湿法施用氮二氧化硅膜表面粗糙度
机译:气相蚀刻二氧化硅薄膜。
机译:使用两步金属辅助化学刻蚀方法由冶金级硅粉形成硅纳米线填充膜
机译:二氧化硅薄膜的气相蚀刻
机译:从硅烷和二氧化氮光辅助沉积二氧化硅