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机译:金刚石线的磨损对硅片表面形貌,粗糙度和亚表面损伤的影响
Wear; Diamond; Wire sawing; Silicon wafer; Surface; Subsurface damage;
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机译:高纯铝,铝硅合金和铝硅/碳化硅复合材料在M2钢上滑动的磨损表面和磨损碎屑的磨损行为和微观结构表征。
机译:用树脂粘合金刚石锯锯制线速对相变硅晶片中的相变和残余应力的影响
机译:确定线速度对金刚石线锯硅片表面损伤的影响