机译:旋涂TXRF参考样品在硅片上ToF-SIMS金属污染物定量中的应用
Tof-sims; Metal; Contamination; Silicon; Spin coating; Spectroscopy; Impurities; Surfaces;
机译:旋涂TXRF参考样品在硅片上ToF-SIMS金属污染物定量中的应用
机译:通过TOF-SIMS,ICP-MS和TXRf定量分析硅晶片上的痕量金属污染物
机译:使用ToF-SIMS在硅晶片上进行痕量金属污染定量:从沉积的液滴标准液中进行RSF测定
机译:通过TOOF-SEM,ICP-MS和TXRF通过TOOF晶片痕量金属污染物的量化问题
机译:在短脉冲持续时间内,在金属化和钝化的硅晶片上形成激光激发的接触。
机译:使用薄晶圆掩模的辉光放电质谱分析小硅样品的方法
机译:新型TXRF方法检测硅晶片背面和边缘的金属污染