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机译:使用金属合金靶材对铝掺杂氧化锌层进行PEM控制的反应磁控溅射工艺中的光学研究
Aluminium doped zinc oxide (zao); Plasma emission monitor (pem); Transparent conductive layer (tco); Acousto optical spectometer (aos); Process control; Time resolved spectroscopy;
机译:使用金属合金靶材对铝掺杂氧化锌层进行PEM控制的反应磁控溅射工艺中的光学研究
机译:脉冲磁控溅射沉积铝掺杂氧化锌层的耐蚀性分析
机译:SnO2-x的结构,电学和光学性质:通过直流反应磁控溅射从Ar-O-2 / CF4混合物中的金属靶沉积的F层
机译:磁控溅射沉积铝掺杂氧化锌薄膜光学性质的研究
机译:在高温“智能”摩擦应用中,在封闭场不平衡磁控溅射中反应性沉积的氮化铝压电薄膜。
机译:射频磁控溅射制备(MgAl)共掺杂ZnO薄膜的光电性能研究与研究
机译:基材温度对磁控溅射层逐层掺杂锌氧化物薄膜结构,光学和电性能的影响