机译:基于AlN的溅射沉积剪切模式薄膜体声谐振器(FBAR)在生物传感器中的应用-综述
Biosensor; Electro-acoustic device; Shear mode; Thin film technology;
机译:基于AlN的溅射沉积剪切模式薄膜体声谐振器(FBAR)在生物传感器中的应用-综述
机译:基于倾斜c轴取向的ZnO和AlN薄膜的双模薄膜体声谐振器(FBAR)的分析研究
机译:薄膜体声波谐振器(FBAR)的局部质量灵敏度的分析和有限元建模
机译:薄膜体声谐振器(FBAR)中厚度剪切模式(TSM)声波的横向场激励(LIFE)作为潜在的生物传感器
机译:物理传感应用集成电路上的薄膜体声谐振器
机译:基于倾斜c轴AlN膜的剪切模式体声谐振器监测人体止血参数
机译:用于射频应用的薄膜体声谐振器(FBAR)滤波器的设计与分析
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)