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机译:使用RuO4前驱体和5%H2还原气体通过脉冲化学气相沉积法生长RuO2薄膜
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机译:使用液态前体Ru(OD)3的化学气相沉积RuO2薄膜
机译:使用Ruo4前体和N-2 / H-2混合气体对原子层沉积的Ru薄膜生长行为的基质效应
机译:使用RuO_4前驱体作为DRAM电容器电极的钌和二氧化钌薄膜的脉冲化学气相沉积
机译:金属有机化学气相沉积和原子层沉积方法,用于从二烷基酰胺前体中生长ha基薄膜,用于高级CMOS栅极堆叠应用
机译:N2:(N2 + CH4)比在低温等离子体增强化学气相沉积法生长疏水纳米结构氢化氮化碳薄膜中的作用研究
机译:使用Ruo4前体和N 2 / H 2混合气体对原子层沉积的Ru薄膜生长行为的底物效应
机译:金属有机化学气相沉积法测定RuO(sub 2)薄膜的低温生长和取向控制