机译:原子层沉积低温外延氧化物超薄膜和纳米结构
atomic layer deposition; epitaxial film; CeO2 low temperature growth; area-selective atomic layer deposition;
机译:原子层沉积低温外延氧化物超薄膜和纳米结构
机译:在相对低温下等离子体增强原子层沉积产生的超薄外延ALN膜的微观结构和界面
机译:通过PT等离子体增强的原子层沉积的低温固体氧化物燃料电池增强纳米结构薄膜阳极的增强性能
机译:中空阴极等离子体辅助原子层沉积:低温合成III族氮化物晶体薄膜和纳米结构的新途径
机译:通过原子层沉积法生长的润滑性纳米晶状氧化锌/氧化铝纳米层压板和二氧化锆单膜的结构和低温摩擦学。
机译:逐层原位原子层退火法制备AlN超薄膜的低温原子层外延
机译:在相对低温下等离子体增强原子层沉积产生的超薄外延ALN膜的微观结构和界面
机译:二元和三元氧化物薄膜原子层外延低温沉积过程的研究