机译:用于SPM应用的音圈电机(VCM)驱动的执行器的减振控制
Sensors and actuators; Voice coil motor; Vibration reduction control; Nanoscanner; Nanoscale image;
机译:用于SPM应用的音圈电机(VCM)驱动的执行器的减振控制
机译:音圈电机(VCM)纳米扫描仪的减振控制
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机译:通过凸轮旋转控制音圈致动器。
机译:模糊PID逻辑控制的无刷电机驱动控制系统的建模与仿真
机译:采用绝对位移传感器的两个自由度控制空气型防振装置:使用音圈电机(机械系统)振动控制