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机译:通过CMOS兼容工艺改善耦合因子的微加工超声换能器
CMOS compatible; Surface micromachining; Transducers; Ultrasound transducers;
机译:通过CMOS兼容工艺改善耦合因子的微加工超声换能器
机译:CMOS兼容的具有高$ Q $系数的微加工环形和螺线管电感器
机译:通过与CMOS工艺兼容的表面微加工工艺制造的压阻式压力传感器
机译:后处理CMOS中的微加工磁超声换能器
机译:为热成像应用开发了与锗硅氧化物CMOS兼容的微机械红外探测器。
机译:使用CMOS工艺的微机械磁传感器的建模和制造无需任何后处理
机译:压电复合微机械的多频传感器,用于高分辨率,高对比度超声成像,改善前列腺癌评估
机译:压电复合微机械多频传感器,用于高分辨率,高对比度超声成像,用于改善前列腺癌评估。