Schnelle optische 3D-Vermessung von Oberflachen in der Halbleiterindustrie

摘要

Bei immer komplexeren Bauteilen sind vielseitige und verlassliche Losungen gefordert. Eine davon sind Sensoren des Typs KORAD~(3D). Diese Sensoren sind nun als standardisiertes Produkt mit einer neuartigen grafischen Benutzeroberflache erhaltlich. Das ermoglicht auch Anwendern ohne Erfahrung einen einfachen Einstieg in das beruhrungslose Vermessen und Erfassen von Objekten und Oberflachen. Ein Beispiel ware hier die Inspektion von Wafern.