机译:通过低温和全表面微加工工艺制造电容式超声换能器
Capacitive transducer; Surface micromachining; Low temperature process; Thermal annealing;
机译:通过低温和全表面微加工工艺制造电容式超声换能器
机译:具有低温直接晶圆粘合技术的电容式微机械超声换能器的制造
机译:低温晶片直接键合的电容式微机械超声换能器的制备与表征
机译:通过低温全表面微加工工艺制造电容式超声换能器
机译:用于血流超声多普勒和光声成像应用的电容式微加工超声换能器阵列。
机译:低温晶片直接键合的电容式微机械超声换能器的制备与表征
机译:具有低温晶圆直接键合的电容式微机械超声换能器的制作与表征
机译:电容式超声波换能器和成像系统