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机译:电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备的聚合物碳薄膜的耐等离子体刻蚀性能
机译:电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备的聚合物碳薄膜的耐等离子体刻蚀性能
机译:电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积微细加工过程中氮化硅薄膜的应力和成分分析
机译:O_2和N_2退火对电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备氧化钽薄膜电学性能的影响。
机译:电子回旋谐振等离子体增强化学气相沉积技术沉积氮化硅膜中氮化硅膜应力的影响
机译:通过等离子增强化学气相沉积在聚合物基材上沉积无机薄膜。
机译:193 nm ArF受激准分子激光在激光辅助等离子体增强SiNx的化学气相沉积中的作用以进行低温薄膜封装
机译:偏压对电子回旋共振等离子体在CoCrMo合金上制备的氢化非晶碳膜性能的影响增强了化学气相沉积(ECR-PECVD)
机译:用电子束生成等离子体的等离子体增强化学气相沉积siOx薄膜