机译:双电子回旋共振-射频放电获得的CH4等离子体的质谱研究
机译:双电子回旋共振-射频放电获得的CH4等离子体的质谱研究
机译:rypto对电子回旋共振-射频杂化氧等离子体对金刚石表面构图的影响
机译:rypto对电子回旋共振-射频杂化氧等离子体对金刚石表面构图的影响
机译:在电子回旋共振射频放电中的等离子体沉积金刚石碳和碳 - 氮化物膜
机译:使用能量和高能“快速”电子的密度测量亚稳态原子密度,电子能量分布函数中检测到与射频感应耦合等离子体氦放电产生的余辉等离子体相关的电子能量分布函数
机译:使用激光解吸电离傅里叶变换离子回旋共振质谱的无基质质谱成像
机译:来自氖电子回旋共振等离子体的无定形CNx层,其中N2和CH4作为前体