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机译:等离子体蚀刻反应器的反馈控制可改善蚀刻均匀性
plasma etching; distributed control; spatial uniformity control;
机译:等离子体蚀刻反应器的反馈控制可改善蚀刻均匀性
机译:共振感应耦合等离子体源中大面积等离子体和多晶硅刻蚀均匀性控制的数值研究
机译:磁-微波等离子体刻蚀反应器中稀有气体流动结构和刻蚀气体通风的直接模拟蒙特卡罗分析
机译:SiO_2蚀刻和下一代等离子体反应器的半导体器件制造开发中的介电膜蚀刻
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:通过提高磁导金属化学蚀刻中的蚀刻方向可控性的Si弯曲结构
机译:等离子体蚀刻反应器的反馈控制用于改善蚀刻均匀性
机译:用于监测氯 - 氦等离子体中多晶硅的等离子体蚀刻期间的蚀刻均匀性的光学诊断仪器。