圧電材料のEBSD結晶形態に対するマルチスケール有限要素モデリングの検討

摘要

各種電子デバイスのアクチュエータとして様々な分野で多用されている圧電セラミックスは，多数の結晶粒の集合組織を有しており，結晶粒は機械的および電気的に顕著な異方性を示す．したがって，アクチュエータの設計開発において重要となるマクロ特性は，ミクロ結晶形態に支配されることから，EBSD法によるミクロ結晶方位の測定やこれを導入したマルチスケール有限要素解析が実施されている．%In this sturdy, we investigated the influence of microstructural models on macro homogenized properties of piezoelectric materials through multiscale finite element analysis. Micro crystal morphology was analyzed by electron backscatter diffraction (EBSD) method, and it was introduced into microstructural models. As comparing two representative volume elements for cross sections parallel and perpendicular to poling direction, we verified the availability of quasi three-dimensional, plate-shaped microstructural models to estimate macro homogenized properties.