机译:高密度等离子体沉积SiO_2和SiN_x:H薄膜的性能比较
机译:电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积硅衬底上的SiN_x,SiO_2 / SiN_x和SiO_xN_y介电膜的电导瞬态比较分析
机译:使用堆叠式等离子增强化学气相沉积SiO_2 / SiN_x栅极电介质增强多晶硅薄膜晶体管的稳定性
机译:使用自组装单层膜在SiO_2和SiN_x上沉积连续超薄银膜
机译:用牛津Plasmalab 100系统存放的Sin_x薄膜中的电荷捕获和储存
机译:Nothermal等离子体沉积掺杂硅纳米晶体膜的热电性能
机译:在不加热衬底的情况下通过射频磁控等离子体溅射沉积的铝掺杂氧化锌薄膜的空间分辨光电性能
机译:使用射频磁控溅射在$ Pt / Ti / SiO_2 / Si $衬底上沉积的$ CaCu_3Ti_4O_ {12} $薄膜的沉积和介电特性