University of Minnesota.;
机译:氢气稀释和掺杂气体对等离子体沉积多晶硅薄膜材料性质的影响
机译:p型结晶Si衬底上掺硼等离子体增强化学气相沉积氢化非晶硅膜的表面钝化性能
机译:重掺杂的硅和镍硅化物纳米晶体复合膜具有增强的热电效率
机译:等离子体沉积碳掺杂氧化硅低介电常数薄膜的结构特性和缺陷表征
机译:掺杂硅和氮化钛纳米晶体的非热等离子体合成和等离子体性能。
机译:在不加热衬底的情况下通过射频磁控等离子体溅射沉积的铝掺杂氧化锌薄膜的空间分辨光电性能
机译:硅纳米团簇/纳米晶体掺杂SiO2薄膜的非线性光学性质:退火温度依赖性