微小部・薄膜の高感度測定を実現した蛍光X線膜厚計“SFT9500”

摘要

X線を多数の導管の中で反射させ一点に集光させる方法によって、数nmの厚みを正確に測定することが可能となりました。ここでは、そのメカニズムについて詳しく解説します。