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机译:ITO微型加热器制备的透明ZnO纳米线MEMS气体传感器
Natl Kaohsiung Univ Sci & Technol Dept Elect Engn Kaohsiung 807 Taiwan;
Natl Cheng Kung Univ Inst Microelect Tainan 701 Taiwan|Natl Cheng Kung Univ Dept Elect Engn Tainan 701 Taiwan;
Epistar Corp Tainan 741 Taiwan;
ZnO nanowires; Gas sensor; MEMS; ITO;
机译:使用CMOS-MEMS技术在芯片上集成了微加热器和反相放大器电路的纳米线WO_3湿度传感器
机译:在带图案的ZnO:Ga / SiO_2 / Si模板上制备基于ZnO纳米线的CO传感器
机译:用于气体传感的CMOS-MEMS谐振器中嵌入式微加热器和温度传感器的特性
机译:监测由ZnO纳米线辅助的空气中烟草烟雾的净化,并使用MEMS-FTIR光谱仪在线连续分析挥发性有机化合物(VOC)
机译:在温度控制平台上开发基于MEMS化学电容器聚合物的气体传感器。
机译:通过原子层沉积制备的各种衬底和ZnO超薄种子层对ZnO纳米线阵列生长的影响的研究
机译:超薄玻璃基柔性,透明,超声表面声波湿度传感器,具有ZnO纳米线和石墨烯量子点