首页> 外文期刊>Semiconductor International >Jet and Flash Imprint Lithography
【24h】

Jet and Flash Imprint Lithography

机译:喷射和闪光压印光刻

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
       

摘要

The NuTera HD7000 is a jet and flash imprint lithography (J-FIL) platform for the hard disk drive (HDD) industry. A nanopatterning system for patterned media pilot and volume manufacturing, the platform enables sub-20 nm lithography at production speeds to extend areal density beyond 1 Tb/in.~2.
机译:NuTera HD7000是用于硬盘驱动器(HDD)行业的喷射和闪存压印光刻(J-FIL)平台。该平台是一种用于图案化介质中试和批量生产的纳米图案化系统,能够以生产速度进行20纳米以下的光刻,以将面密度扩展到1 Tb / in。〜2以上。

著录项

  • 来源
    《Semiconductor International》 |2010年第3期|28|共1页
  • 作者

  • 作者单位
  • 收录信息 美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

  • 入库时间 2022-08-17 23:12:15

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号