AMEC上海に工場建設ェッチング装置を増産

摘要

中国の半導体製造装置メーカーのAMEC(中微半導体設備、上海巿)は6月下旬、上海巿の臨港新区で半導体製造装置工場の起工式を開催した。投資額は約15億元(約257億円)。2022年末に工場を稼動し、エッチング装置などを生産する。AMECは、米アプライド·マチリアルズ(AMAT)出身のジエラルド·ィン(尹志尭)CEOが2004年に上海巿で創業した。07年にCCP(容量結合型プラズマ)方式のエツチング装置を開発。上海巿浦東新区の金橋輸出加工区に2.8万m~2の工場敷地を持ち、同工場で半導体やLEDの製造装置を開発している。半導体製造用のエッチング装置は上海工場(金橋区)で量産し、LED製造用のMOCVD装置は江西省南昌巿のレンタル工場で量産している。