新型のガス除害装置カンケンテクノ約75％の省エネ化

摘要

カンケンテクノ㈱(京都府長岡京巿神足太田30-2、075-955-8825)，は、半導体製造時の排ガス処理を約75％省エネ化できる除害置を開発した。科学技術振興機構(JST)のプロジェクトで実施したもので、3月末に成功と認定された。CVDなどの排ガス処理の省エネ化に貢献できる。