堀場エステック韓国でMFC増強CRを1.3倍に

摘要

㈱堀場製作所の子会社の㈱堀場エステック(京都市南区上鳥羽鋅立町11-5、075-693-2300)は、韓国子会社で半導体製造装置向けマスフローコントローラー(MFC)の生産体制を増強する。クリーンルーム(CR)を約1.3倍に拡張し、2021年内に生産能力を現状の月数百台から月1000台レベルに引き上げる。