産総研とオムロン厚さ7μmを実現圧電ァクチュェー夕ー

摘要

産業技術総合研究所(産総研)と、オムロン㈱(京都市下京区)は、厚さ7μmの圧電薄膜ァクチユエーターを開発した。また、同ァクチユエー夕ーをアレイ化するととちに、振動を最大化するフィルム基板実装技術を用いることで、世界最薄·最軽量のハプテイクス用フィルム状振動デバィス(ハプテイクスフイルム)を実現した。