i線販売が100台超えさらなる増産体制を検討

摘要

半導体.FPD露光装置事業を展開するキヤノン(株)(東京都大田区下丸子3-30-2、☎03-3758-2111)は、国産初の半導体露光装置「PPC-１」を1970年に発売し、半導体露光装置事業に本格参入して今年で50周年を迎える。主力の線露光装置では高シェアをべースに、近年は市場規模が拡大。販売台数も中長期で拡大が見込める状況で、生産能力のさらなる拡充を含めて事業体制の強化に余念がない。露光装置事業を統括する武石洋明常務執行役員に話を聞いた。