ダイへソ 攻める!: 搬送ロボット事業の戦略〈中〉 スカラーロボット 15年初頭に投入 「ならでは製品」の創出に注力

摘要

半導体•FPD用クリーン搬送ロボット製品の事業を強化している㈱ダイヘン(大阪市淀川区田川2-1-11、06-その取り組みを追う連載の第2回は技術関連の動向について取り上げる。同社の搬送ロボット製品を扱うACT事業部において技術部長を務める神谷真司氏に話を伺った。——新製品の動向から。神谷直近では6月にアライナーの新製品「AIGISシリーズ」を発表した。これはアライナーにウエハー外周上の欠け検出機能を備えた業界初の製品で、センタリング動作時にウエハーのチッピング(微小な欠け)やパーティクルの原因となるバリを検出できる。幅1mm、深さ0.2mm以上のチッピングやバリを検出することが可能で、ウエハー割れなどの事故を未然に防止し、生産ラインの安定稼働に貢献する製品だ。