基板用の新型露光機 第1号機を納入へ

摘要

ウシオ電機㈱(東京都千代田区大手町2-6-1、03-3242-1811)は、2·5D/3Dインターポーザー向けのステッパー「UX7-3Di LIS 350」(写真)の第1号機を大手最先端パッケージメーカーから受注、7月末に納入する。同製品は、300mmシリコン(Si)ウエハーおよび有機基板で解像力2μmのライン/スぺース(L/S)の冋路形成に適している。独自のァライメント機構により有機基板における反りや伸縮にも対応するなど、近年増加しているSiウエハー以外での3次元インターポーザー製造にも最適化した。同社では、さらなる微細化に対応するため、解像力1μmのL/Sの性能を有する精密投影レンズを開発中としている。同装置は300mmウエハー口径に対応するとともに、405×350mmの基板サイズにも対応しているため、最近Siインターポーザーに代わって需要が拡大している樹脂基板や次世代のガラス基板などの材料にも適している。