産総研 電流100倍の配線材 単層CNTと銅を複合

摘要

(独)産業技術総合研究所(産総研)は、単層カーボンナノチューブ(単層CNT)と銅を用いて、銅と同程度の電気導電性を持ち、銅の100倍まで電流を流すことが可能な複合材料(写真)を開発した。電子デバイスの電力は、銅や金を材料とした配線で供給され、流せる電流は配線の太さ·素材によって決まる。だが、デバイスの小型化が進むなかで電流密度は高くなり、従来の配線材料では流せる電流量が限界に近づいている。国際半導体技術ロードマップ(ITRS)によれば、2015年にはデバイス内の電流密度は銅·金の破断限界を超えると試算している。産総研では、銅イオンの有機系溶液よび水溶液を用いた電気めっき法により、スーパーグロース法(単層CNTの合成手法の1つであるCVD法)で合成した単層CNTと銅を複合化させ、配線用のCNT銅複合材料を作製した。