TASC／産総研、単層CNTと銅複合材料で微細配線加工に成功

摘要

単層CNT融合新材料研究開発機構（TASC）と産業技術総合研究所は、新エネルギー·産業技術総合開発機構（NEDO）のプロジェクトにおいて、単層カーボンナノチューブ（CNT）と銅の複合材料を用いて、銅の100倍の電流を流すことが可能な微細配線を基板上に作製する技術を開発した。