NIMS超高精度に組成分析超伝導検出器で高分解能

摘要

物質·材料研究機構(NIMS、茨城県つくば市)構造材料解析プラットフォームの原徹プラットフォーム長らの研究グループは、透過型電子顕微鏡(TEM)を使った超高精度ナノ組成分析技術を開発した。超伝導検出器を電子顕微鏡に応用し、10ev以下の高いエネルギー分解能を実現した。応用分野は半導体、エネルギー、鉄鋼など幅広く、試料内の添加元素(ドーパント)偏析量の測定、未知構成元素の特定、多種構成元素の精密な組成分析などに活用できる。