超大型LCD工場の生産革新に向け未知の領域に踏み出した装置・部材メーカーその技術動向を徹底検証

摘要

薄型TVの隆盛期を迎え，パネルメーカー各社は大型新工場への設備投資を積極的に続け，ガラス基板の大型化で大画面化と低コスト化に対応している。第9世代のガラス基板は，サイズが2400mm×2800mm，カセット重量も2000kg以上となり，まさに大工場が必要となる。今後は環境に優しい「省スペース・省エネルギー・クリーンエリアの極小化」を実現するLCD工場も求められる。このような現状を踏まえ，さらなる大型化・省エネ化・高性能化を実現する装置・部材の最前線ではどのような開発が繰り広げられているのか。その最新動向をプレスジャーナル主催の第11回FPDシンポジウム「次世代超大型液晶工場の生産革新」における主要装置・部材メーカーの講演からレポートする。