オルガノ，機能水による洗浄の提案薬品・超純水の使用量，排水量の削減優れた洗浄効果・タクトタイム短縮が可能

摘要

オルガノは，事業の中核の一つとして，LCDや半導体の製造工程における，洗浄やエッチング，現像で使用された薬品をリンスするための超純水製造装置の他，排水処理・回収設備など水処理のトータルソリューションを提供している。その中で，同社は，超純水に洗浄機能を持たせた“機能水”を提案している。機能水は，LCDや半導体の洗浄に用いることで，薬品・超純水の使用量および排水量を削減できることから，環境に優しい上に顧客のコストダウンに寄与する。さらに，デバイス性能の向上，タクトタイムの短縮も実現できる。現在，機能水のメインは，水素ガス溶解水（以下水素水）とオゾンガス溶解水（以下オゾン水）である。水素水は，パーティクルの除去および再付着の防止，一方，オゾン水は有機物を分解除去する他，金属不純物をイオン化し除去するために使用されている。