ギガフォトンの最新ArFエキシマレーザ高出力化と安定性向上でDPLに対応次世代を見すえたEUV光源技術の開発も進む

摘要

ギガフォトンは，00年にコマツとウシオ電機の合rn弁会社として設立された露光用エキシマレーザメーrnカーである。設立以来着実な成長を続け，アジア地rn域を中心にシェアを拡大。先行企業であるCymerrnと，世界市場でのシェアをほぼ二分する状況となっrnている。