ウェルの大気圧プラズマ装置低出力／ガス消費量と大面積処理を両立表面改質からナノコーティングまで幅広く対応

摘要

本稿では，ウェル代表取締役社長江田尚之氏へのrn取材から，同社の大気圧プラズマ装置を紹介する。rnウェルの卓上型大気圧プラズマ装置「MyPL100」は，rnダイレクト方式により，Ar（またはHe）雰囲気の大気rn圧下において安定的にグロー放電プラズマを発生し，ワrnークの表面改質だけではなく，処理用ガスを変えることrnによってアッシング，エッチング，ナノコーティングへrnの適用も可能である。