一种适用于等离子体处理机台的气体混合装置以及等离子体处理机台

摘要

本实用新型提供了一种适用于等离子体处理机台的气体混合装置以及等离子体处理机台，所述等离子体处理机台包括一个档板和气体喷淋板，所述档板设置于气体喷淋板之上，所述气体混合装置至少第一气体进气口、第二气体进气口及混合气体进气口，其中，所述第一气体进气口用于通入第一气体，所述第二气体进气口用于通入第二气体，所述混合气体进气口是所述第一气体和第二气体混合之后通入所述等离子体处理机台的入口，其中所述气体混合装置还包括至少一个气体混合通道，所述气体混合通道的一端分别连接有所述第一气体进气口和第二气体进气口，所述气体混合通道的另一端连接有混合气体进气口，所述气体混合通道具有多个弯道。该气体混合装置能够使得气体混合得更加均匀充分。