コールドFE電子銃継承

摘要

走査電子顕微鏡(SEM)は、ナノテクノロジー、半導体·エレクトロニクス、バイオロジー、材料などの幅広い分野において、物質の微細構造から組成まで多岐にわたる観察•分析に活用されている。こうしたSEMの活用分野用途の広がりに伴い、観察時間の短縮やより多くの情報を迅速に取得する高いスループットが求められている。