新開発のコールドFE電子銃搭載低加速電圧での観察と分析融合

摘要

新開発のコールドFE電子銃は、電子源にガス分子が付着する前の高輝度安定領域を利用することで、高輝度で長時間安定したエミッション電流を実現している。これにより、低加速電圧条件下でも大きなプローブ電流が得られ、明るく、S/Nに優れた画像を提供し、安定性と信頼性のある画像観察を可能にしている。また観察性能については、ステージと試料室の耐振性向上と光学系の最適化により、加速電圧(15kv)分解能を1.0nm (従来機種「SU8000」シリーズ)から0.8nmへと約20%向上し、照射電圧(lkv)の分解能においても1.3nmから1.1nmに、約15%向上した。